北方华创“晶圆传输控制方法”专利获授权
2023-11-16 作者: 编辑
天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“晶圆传输控制方法”专利获授权，授权公告日为11月14日，授权公告号为CN111599715B。
图片来源：天眼查
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆传输控制方法，方法包括：向工艺腔室输入目标气体并进行真空排气，以使工艺腔室维持在第一压力；依次打开工艺腔室和过渡腔室的门阀，并将晶圆从处于第二压力的过渡腔室内传送至处于第一压力的工艺腔室内升起的支撑针组件上，其中，第二压力大于第一压力，且二者的差值在预设范围内；依次关闭过渡腔室和工艺腔室的门阀，并停止向工艺腔室输入目标气体；保持真空排气至预设时长，以降低工艺腔室内的目标气体浓度；控制支撑针组件带动晶圆下降，以将晶圆放在位于支撑针组件下方的静电卡盘上。
据悉，本发明可以弱化或消除气垫效应带来的晶圆滑动，解决氮气控压后的AWC数据离散问题。
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