在大会分论坛之一的“半导体设备与核心部件产业投资论坛”上，多位创业者分享了其在半导体核心部件领域的最新进展，投资界人士纷纷表示看好这个“小而美”的赛道，分享了其投资理念和投资案例。

近几年，随着国产替代步入“深水区”，半导体核心部件及设备短板领域，涌现出一批优秀的初创公司。在论坛上，多家初创公司的创业者介绍了其公司产品和技术的最新进展。

新阳硅密（上海）半导体技术有限公司（简称“新阳硅密”）副董事长印琼玲在本次论坛上发表了“一代材料、一代设备、一代工艺，建设国产自主可控的生态圈”的演讲，她介绍，在制造技术、2.5D/3D封装技术不断发展背景下，各家半导体设备巨头都在积极布局电镀设备领域。

得益于协同发展，新阳硅密在电镀设备领域取得快速突破。新阳硅密的股东之一上海新阳，是国内领先的电镀材料厂商；股东盛吉盛作为设备厂商，与中芯国际紧密合作。新阳硅密与股东方形成了设备、材料、用户的合作研发。

芜湖通潮精密机械股份有限公司（简称“通潮精密”）董事长司奇峰在“外忧内卷下半导体零部件国产化道路”的演讲报告中指出，回溯2016年起的半导体产业发展，前3年是半导体设备、设计公司的高光时刻，最近2年尤其今年，半导体核心零部件进入腾飞阶段，零部件国产替代正当时。

司奇峰介绍，通潮精密已积累了80多家半导体客户，多个产品已向主要存储厂送样。在半导体领域，子公司芯通半导体成立于2019年，主营半导体部件精密清洗、等离子喷涂、阳极氧化、核心部件精密加工等。子公司晶纯成立于2021年，主营硅、碳化硅（含素材）、石英、金属等部件的研发制造。

温州邦欣源科技有限公司（简称“邦欣源”）董事长丁晓荣发表了“半导体高端密封圈和真空阀件的解决方案”的演讲。他介绍，电子级专用密封圈的市场长期由杜邦、GT、PPE等国际公司垄断，阀件则由VAT、SMC、V-TEX等全球性的真空阀门企业垄断。

邦欣源从源头功能助剂发力，经过五六年的奋战，终于开发出耐高温的密封圈产品，超越了杜邦最高温327摄氏度的产品。公司自主研发的真空阀板共有48套。

作为演讲的压轴，上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）总经理唐德明给大家带来“第三代半导体检测量测设备的机会和挑战”的演讲报告，详细介绍了倍受市场关注的半导体量测检测设备。

唐德明介绍，由于碳化硅单晶质量低于硅，碳化硅衬底在长晶过程就要做位错（包括微管）检测，出货阶段还要做翘度度及其他缺陷检测；外延片也需要进行出货检测。在碳化硅领域，当前的主要检测技术包括暗场/明场缺陷检测、形貌分析、光致发光等，主要的量检测设备市场都掌握在KLA、Semilab、Lasertec等国外厂商手里。

在半导体量检测领域，优睿谱推出的FTIR设备Eos200Lite用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，已实现批量出货且获得多家头部客户订单。优睿谱SICT200设备已交付客户，用于碳化硅衬底晶圆平整度测量，如晶圆厚度/翘曲/BOW等参数的测量。公司的碳化硅自动光学位错微管检测设备SICD系列也已经交付客户。

印琼玲认为，资本加持+产业链协同，半导体零部件才能发展得更好、更快。事实上，这个“小而美”的赛道已经备受资本关注。在本次论坛的圆桌环节，多家知名PE的相关人士介绍了其对半导体核心部件投资的理念和案例。

“半导体量检测设备、核心部件等市场渗透率在5%以下的领域，逐步得到资本青睐，也得到晶圆厂封测厂更多的验证支持，正在加速发展。”元禾璞华董事总经理牛俊岭介绍，看好零部件赛道，元禾璞华也投资了通潮精密这样的优秀公司。

浑璞投资合伙人姜寅明则表示，核心零部件的重要性不亚于整机设备，PE可以给予估值溢价。浑璞投资最早重点关注半导体设备，从2020年起深度关注零部件，当下最看重的就是第三代半导体所带来的设备和零部件的投注机会。在浑璞投资看来，投资的上半场主要是围绕晶圆厂扩产做增量替代的生意，下半年则是围绕存量做耗材的替代和创新。为此，浑璞投资看好并投资了优睿谱。

超越摩尔基金投资管理部执行总经理王琳介绍，作为专注超越摩尔产业链的基金，超越摩尔基金关注的领域包括模拟、射频、工艺、MEMS传感器等，也投资了托伦斯这样的零部件公司。

机遇当前，上述PE嘉宾呼吁产业良性的内卷，从客户需求出发，在一些细分领域创新性研发可用、好用的设备零部件产品，而非扎堆“替代国产”。针对当前半导体公司纷纷上市，嘉宾呼吁，半导体设备零部件公司走平台化发展道路，体量更小的“赛点”公司，应更多考虑走并购上市的路径。

对于资本的“青睐”，托伦斯半导体设备（启东）有限公司副总经理李昌哲表示，机遇当前也要尊重生态圈、设定好自己的商业模式，托伦斯选择的商业模式是只对设备原厂做技术开发，不会直接对接晶圆厂。司奇峰则强调，创业者应尊重产品、尊重人才、尊重行业。

兴业证券董事总经理王怡人在“半导体企业与资本市场的协同发展”演讲中，详细介绍了国内半导体公司登陆资本市场的情况，并给初创公司冲刺IPO提供了诸多切实的建议。