北京烁科中科信3月31日消息称，一季度实现设备交付及市场订单双突破。

 

北京烁科中科信称，北京总公司和长沙分公司实现12台离子注入机先后顺利交付，同比增长300%，仅3月份就交付5台设备。一季度新签合同再创新高，合同总额突破3.5亿元，同比增长21%。

 

据官方资料介绍，北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，由中电48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市经济技术开发区（通州）光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。

 

北京烁科中科信产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，已形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有40多台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线，12英寸晶圆量产超1500万片，量产工艺段覆盖至28nm。特种注入机和化合物半导体注入机出货几十台。