据韩媒报导，德国默克公司将在韩国生产化学机械抛光 (CMP) 浆料，最早将于今年上半年量产。CMP 浆料是一种用于抛光和平整半导体晶圆表面的材料。它被放置在晶圆和 CMP 垫之间并旋转，用于三星电子、SK海力士等半导体元件企业的晶圆研磨工艺。

 

默克正在与韩国客户进行 CMP 浆料的质量测试，预计将于2022年上半年开始交付。

 

此前，默克在京畿道平泽市建设了CMP浆料生产线，并在2020 年开业的韩国先进技术中心 (K-ATeC) 建立了研发和制造设施，推进CMP浆料材料研发，同时生产也在当地进行，实现协同效应的最大化。具体的产能还不得而知。韩国默克相关人士表示：“现有的CMP浆料虽然从海外引进并供应到韩国国内，但通过本地直接生产，交货时间最多可缩短一半”，并称“材料研究也在韩国推进中，能够快速匹配客户想要的物性”。默克预计，每个产品将缩短20%至50%的交货时间。在半导体供应链危机中，默克把快速供给能力作为差异化战略。

 

默克本土化战略或许是应对CMP泥浆市场增长的铺垫。CMP浆料在CMP研磨工艺中占70%，比重很高。近期三星电子和SK海力士扩大国内半导体生产能力，预计CMP浆料需求将激增。三星电子的平泽第三工厂(P3)、SK海力士利川M16等成为代表性的客户。

 

日本昭和电工也决定在韩国建设CMP浆料厂。随着外国公司加入与东进半导体和KCTech等国内公司的竞争，竞争有望升温。

 

默克还准备在韩国生产一种极紫外 (EUV) 冲洗液。该产品在 EUV 曝光过程后起到去除残留物的作用，需要一种不同于当前光源的专用材料，例如氟化氩 (ArF)。

 

默克也在与企业客户一起检查 EUV 冲洗液的质量。默克目前已在海外生产EUV冲洗液，但不久将在韩国生产。

 

默克于2019年收购的 Versum Materials 也在扩大其在韩国半导体市场的影响力。该公司正在向三星电子等供应双图案技术 (DPT) 材料。DPT 可防止在绘制微处理电路的双重图案化方法中损坏半导体。三星电子大约一半的 DPT 材料依赖 Versum Materials。

 

随着CMP浆料企业的战略变化，市场的格局变化也将不可避免。在CMP浆料市场，美国公司Cabot到2000年代初期曾一直占据近60%的市场份额。然而，随着最近供应商多样化，其市场份额已下降到30%左右。包括日立和富士胶片在内，默克收购的Versum Materials等都进入了该市场。这意味着，CMP浆料寡头垄断的结构正在减弱，新供应商迅速崛起的空间较大。特别是默克计划到2025年在韩国投资8300亿韩元（约44亿人民币），扩大半导体、显示材料供应能力。

 

CMP浆料是半导体晶圆研磨材料。在晶圆和CMP垫之间加入CMP材料，在旋转的同时，机械地削去表面或产生化学反应，实现平坦化。据市场调查公司Techse估计，截至2020年，全球CMP料浆市场为13亿美元，预计到2024年，年均增长率为6.2%。