欧洲首台!英国启用全球第二台电子束光刻机

2025-05-06 作者: 咚咚

5月6日消息,英国南安普敦大学新建成一座电子束光刻芯片工厂。

 

该工厂将使用电子束光刻技术制造下一代半导体,位于南安普顿大学的全新电子束光刻设备是欧洲首台、全球第二台。

图:现场合影

 

不同于现有的主流商用技术路线 —— 激光图案化,E-beam光刻使用电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光,绘制出半导体电路图案。

 

据了解,电子束光刻技术具备极其优秀的分辨率,可实现远超传统光刻的精度,也无需经过掩膜直写,对研发、小批量生产、原型设计有优势。

 

英国前保守党政府公布了一项国家半导体战略,计划注入高达 10 亿英镑的政府投资来发展国家芯片市场

 

该工厂的开业恰逢英国政府宣布投资 475 万英镑用于技能建设,以发展该国的半导体行业。

 

英国科学大臣Patrick Vallance表示,“我们斥资 475 万英镑的技能培训计划将支持我们的变革计划,帮助更多年轻人进入高价值的半导体行业,缩小技能差距,并促成该领域的进步。”

图:Patrick Vallance出席活动

 

南安普顿大学光电子研究中心 (ORC) 负责人、教授 Graham Reed 表示:“全新电子束设施的投入促进了一系列创新且与工业相关的研究,以及急需的半导体技能培训。”

 

“英国拥有一些世界上最令人兴奋的半导体研究成果,南安普敦的新电子束设施将极大地提升我们国家的半导体领域相关能力”。Patrick Vallance补充道。

 

数据中心设计专家 Vespertec的联合创始人兼董事 Phillip Kaye表示,这项投资为英国半导体制造领域带来了“一股清新的空气”。

 

“如果我们继续这样做,国家就可以培育我们的数字基础设施产业,确保我们充分享受人工智能革命带来的好处,并保护企业免受全球技术供应链冲击。”

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