2020年12月23日，上海精测半导体技术有限公司（简称“上海精测半导体”）宣布推出首款半导体电子束检测设备：eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备，并于今日正式交付国内客户，助力半导体产业国产化。该设备是基于扫描电子显微镜技术的复查和分类的设备，应用于集成电路制造过程，可对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类，满足10x nm集成电路工艺制程的需求。