国产半导体设备精密零部件供应商先锋精密科创板IPO获受理

2023-06-09 作者: 晴天

6月8日,国内半导体设备精密零部件供应商江苏先锋精密科技股份有限公司(简称“先锋精科”)科创板IPO获受理。

 

先锋精科成立于2008年3月,是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家,尤其在国际公认的技术难度仅次于光刻设备的刻蚀设备领域,是国内少数已量产供应7nm及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商。

 

作为国家高新技术企业,先锋精科拥有江苏省晶圆刻蚀设备关键零部件智能车间和大规模集成电路高端装备精密零部件智能制造车间,同时也是江苏省气相沉积设备部件工程技术研究中心、江苏省基于5nm芯片工艺刻蚀设备PM模块工程研究中心。

 

其法定代表人、控股股东、实际控制人为公司董事长兼总经理游利。此次IPO,先锋精科拟募资7亿元,用于靖江精密装配零部件制造基地扩容升级、无锡先研设备模组生产与装配基地、无锡先研精密制造技术研发中心及补充流动资金项目。

 

该公司形成了关键工艺部件、工艺部件、结构部件三大类主要产品,重点应用于刻蚀设备和薄膜沉积设备等半导体核心设备中。在刻蚀领域,先锋精科主要提供以反应腔室、内衬为主的系列核心配套件; 在薄膜沉积领域,先锋精科主要提供加热器、匀气盘等核心零部件及配套产品。

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