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展 商 风 采

北京微法尔半导体科技有限公司

展位号：A1-99

公司简介：北京微法尔半导体科技有限公司（以下称作 WFR）, 是SRT集团旗下的全资子公司，专注于半导体晶圆传输核心部件和传输设备的研发制造。WFR产品线涵盖了晶圆传输Robot、Loadport、Aligner三类核心部件和Sorter、EFEM晶圆传输设备。研发中心坐落于苏州，占地面积达2000平方米。公司核心团队在半导体设备技术研发领域拥有超过15年的深厚积淀，目前公司拥有研发人员40余位，研发人员占比达60%，为技术创新提供了坚实的基础。WFR以匠人之心矢志不渝地追求产品卓越品质与高度可靠性，积极投身于半导体先进设备制造，承启进口设备的国产化替代，推动中国半导体产业的迅速壮大与崛起。

主要产品：晶圆传输核心部件、晶圆传输系统解决方案、后道膜类工艺解决方案

浙江芯晖装备技术有限公司

展位号：A6-495B

公司简介：芯晖装备成立于 2018 年，是一家集半导体专用设备的研发、生产、销售为一体的高新技术企业。公司致力于半导体装备和核心部件的国产化研发及制造。自主研制的晶体生长、研磨抛光、光学量测、化学检测、芯片测试等设备， 已广泛运用于半导体集成电路制造的前、中、后道。芯晖装备将持续为半导体行业客户提供创新技术与产品解决方案，坚持客户导向、创新拼搏、追求卓越、协作共赢， 将芯晖装备打造成为值得信赖的半导体装备与方案提供商，成为高端半导体智能装备领域受人尊敬的企业，为民族芯，晖光日新。

主要产品：晶体材料生长设备、量测设备、研磨抛光设备、减薄设备、存储器件测试设备

网址：https://www.xinhui-tech.com/

上海微铁克光电设备有限公司

展位号：A3-109

公司简介：上海微铁克光电设备有限公司成立于2014年12月8日，是株式会社ブイ・テクノロジー/V Technology Co., Ltd.在中国设立的全资子公司。V-TECHNOLOGY成立于1997年，最早作为FPD检量测设备的制造商进入业界，并逐步发展成为半导体，Photo Mask及FPD等设备研发、制造、销售、售后的多领域不可或缺的优秀服务商之一。

主要产品：先进封装用LDI设备，半导体硅片检测设备，Photo Mask相关描写设备/检量测设备/修补设备，FPD曝光机及检量测设备，光刻胶分析设备，清洗&湿刻设备等

网址：https://www.vtec.co.jp/en/index.html

杭州慧翔电液技术开发有限公司

展位号：B1-221

公司简介：杭州慧翔电液技术开发有限公司，成立于2006年，深耕半导体高端装置领域，荣膺国家级专精特新与小巨人企业。秉持“专注高端装备制造、打造民族优秀品牌”之志，公司突破技术壁垒，创新解决方案，先后推出了磁流体密封装置、光伏超导磁体、尾气处理装置、高真空阀门、Loadport等产品，领跑行业，广泛应用于光伏、半导体等尖端领域，有力缓解高端装备核心部件供应难题，彰显民族企业创新力量。

主要产品：磁流体、阀门、超导磁体、尾气处理装置

网址：https://www.hz-huixiang.com/

芯钛科半导体设备（上海）有限公司

展位号：A3-117

公司简介：芯钛科半导体设备（上海）有限公司成立于2018年4月，致力于制造高端智能设备，主要从事半导 体领域的设备制造和技术研发。通过引进日本先进技术和自主研发， 构建了具有知识产权的体系，为半导体制造商提供创新技术和产 品解决方案。芯钛科自主研发晶圆贴膜机，超薄晶圆临时键合，UV照射系统。

主要产品：晶圆搬运机器人、晶圆临时键合系统、晶圆贴膜机

网址：https://www.sintaike.com/