半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛议程
CSEAC以“专业化、产业化、国际化”为宗旨，是我国半导体设备与核心部件及材料领域最具知名度的年度性展会，集“技术交流、展览展示、产品发布、经贸洽谈、国际合作及市场拓展”于一体的产业盛宴。CSEAC 2025 同期论坛20+，预计带来行业报告200+，大咖云集，释放“芯”声，引领变革。
半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛
时间：2025年9月4日 13:30-17:00
地点：无锡太湖国际博览中心A5馆
精密的检测与量测仪器在半导体科研教学与人才培养中有着举足轻重的作用。本论坛聚焦解析尖端精密设备在产学研中的创新应用范式。半导体制造作为先进制造技术，在微观世界中获取准确的数据及形貌特征，不仅对科研生产极为重要，尤其在教学中，更能形象表征半导体的特性，是研究过程中“分析与发现”必不可少的装置。
本论坛主席——林楠，北京航空航天大学蓝天杰出教授，兼任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、超强激光科学与技术全国重点实验室副主任。入选国家海外高层次人才，上海市白玉兰人才，欧盟玛丽居里学者。曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人，长期从事集成电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究，拥有十余年大规模集成电路制造与测量设备科研、工程项目研发和管理经验, 截止目前授权/公开国际专利120余项。
会议议程
分论坛主席：林楠
Chair of the Sub-forum：Nan Lin
北京航空航天大学蓝天杰出教授
Professor, Beihang University
13:30-13:55
王新河 北京航空航天大学集成电路学院副院长
Xinhe Wang, Deputy Dean, School of Integrated Circuits, Beihang University
面向集成电路原子级制造的工艺检测与装备控制
Real-Time Monitoring and Control Technologies for Atomic-Scale Manufacturing of Integrated Circuits
13:55-14:20
吉亮亮 中国科学院上海光学精密机械研究所研究员
Liangliang Ji, Research Scientist of Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences
强场激光物理与应用探讨
Strong-field Laser Physics and Applications
14:20-14:45
詹求强 华南师范大学教授
Qiuqiang Zhan，Professor of South China Normal University
低能耗高非线性超分辨显微术
Low-energy,highly nonlinear super-resolution microscopy
14:45-15:10
曹子峥 博士 浙江大学集成电路学院 长聘教授 求是特聘教授
Dr. Cao Zizheng, a tenured professor/Qiushi Distinguished Professor at College of Integrated Circuits, Zhejiang University
面向算力网应用的晶圆级光子集成光刻技术
Photolithography in wafer-scale photonic integration in the context of compute first networking
15:10-15:35
丁晨阳 博士 复旦大学研究员
Dr. Chenyang Ding, Professor of Fudan University
光刻和量检测装备的动力学与运动控制
Dynamics and control of lithographic and metrology tools
15:35-16:00
刘杨 哈尔滨工业大学教授
LIU YANG, Professor and PhD Supervisor at Harbin Institute of Technology
超精密运动系统的探索与实践
Exploration and practice of ultra-precision motion systems
16:00-16:25
徐建明 中山大学集成电路学院副院长
Jianming Xu, Vice Dean of the School of Integrated Circuits at Sun Yat-sen University
中山大学集成电路学院实践教学体系建设
Construction of Practical Teaching System in School of Integrated Circuits, Sun Yat-sen University
16:25-17:00 圆桌对话（嘉宾按姓氏笔画排序）
林楠 北京航空航天大学蓝天杰出教授
Nan Lin, Professor of Beihang University
圆桌嘉宾：
丁晨阳 博士 复旦大学研究员
Dr. Chenyang Ding, Professor of Fudan University
王新河 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院副院长
Xinhe Wang, Deputy Dean, School of Integrated Circuits, Beihang University
李璟 浙江大学教授
Jing Li, Professor of Zhejiang University
刘杨 哈尔滨工业大学教授，博士生导师
LIU YANG, Professor and Doctoral Supervisor at Harbin Institute of Technology
徐建明 中山大学集成电路学院副院长
Jianming Xu, Vice Dean of the School of Integrated Circuits at Sun Yat-sen University
*最终议程以现场实际为准
提前预登记 抽惊喜好礼
△ 请扫上方二维码，立刻报名 △
礼品：京东卡、蓝牙耳机、Apple Watch、华为平板电脑
即日起，已报名观众参与抽奖规则如下：
转发: 朋友圈所有人可见/5个以上行业社群
抽奖: 共两轮，越早报名中奖率越高
领奖: 凭有效转发页，现场二楼礼品领取处领取
咨询: avian.zhang@cseac.org.cn
*报名活动最终解释权归CSEAC组委会所有
CSEAC 2025 同期论坛
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9月4日 |
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09:00-11:00 |
中国电子专用设备工业协会会员大会 |
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09:00-11:00 |
中国电子专用设备工业协会第十届一次理事会 |
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09:30-12:00 |
无锡创新发展大会开幕式 |
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14:00-17:00 |
2025年中国电子专用设备工业协会半导体设备年会 |
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制造工艺与半导体设备产业链联动发展论坛(上) |
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13:30-17:00 |
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智感芯未来—半导体设备高精传感技术协同创新发展论坛 |
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半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛 |
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功率及化合物半导体产业发展论坛 |
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CSEAC 2025风米IC精英大讲堂 |
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18:00-20:00 |
大会欢迎晚宴 |
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9月5日 |
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CIPA 2025：第十二届华进开放日 |
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09:30-12:00 |
制造工艺与半导体设备产业链联动发展论坛(下) |
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09:30-12:00 |
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